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Q 问699:电子半导体行业超高纯度水回用系统有哪些技术突破?

2026-07-31 阅读:1
A

研发氟化物深度去除工艺,出水氟化物稳定低于3mg/L。采用电催化氧化技术,有效降解异丙醇等有机溶剂。集成智能化加药系统,实时调节药剂投加量。

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